海洋光学为半导体加工中的等离子蚀刻终点监测和膜厚测量提供光学感测解决方案。我们的光谱仪和配件使得芯片设计和制造一线的研究人员、原始设备制造商和集成商受益匪浅。
我们提供用于半导体工艺实时监测和控制的光谱仪:
基于光谱的传感器不仅可用于半导体沉积和蚀刻工艺,还可用于腔室灭菌。这些工具可用于优化晶圆产量和质量。
可选产品编号
预配置版Ocean HDX光谱仪
海洋光学与半导体解决方案供应商GlobalFoundries合作,协力改进支持5G和物联网等新兴电子技术的工艺
海洋光学与等离子蚀刻技术的先进创新者合作,探索适合检测关键晶圆蚀刻端点的全光谱等 离子监控解决方案
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